（1）       多功能蒸发镀膜系统

（2）       三靶磁控溅射镀膜系

（3）       真空快速光热退火炉

（4）       差热-热重同步热分析系统 

（5）       霍尔测试系统

（6）       XRD测试系统

（7）       扫描电镜

（8）       四室PECVD薄膜沉积系统

（9）       多室磁控溅射镀膜系统